晶圆在制造、运输和储存过程中,对静电、湿气、氧气以及颗粒污染极为敏感。任何微小污染都可能影响后续制程良率,甚至导致产品失效。
相比普通防静电袋,不仅能够有效屏蔽静电放电(ESD),同时具备优异的防潮、阻氧及遮光性能,可显著降低运输和仓储过程中的环境风险。
可配合无尘内袋使用。
半导体晶圆制造(Wafer Fab)
晶圆代工厂
封装测试工厂
MEMS器件制造
光电器件制造
LED芯片生产
采用四层复合结构,由外向内依次为PET(聚酯薄膜)、AL(铝箔)、NY(尼龙)和CPE(氯化聚乙烯)
多层ESD屏蔽结构,采用金属屏蔽层设计,可有效阻隔外部静电场影响,降低静电放电风险。
符合洁净要求,材料选择符合电子及半导体行业洁净要求,降低包装过程中的微粒污染风险。
优异的防潮性能,高阻隔材料能够有效减少水汽渗透,保护晶圆免受湿气影响。
ISO Class 3洁净室
ISO Class 4洁净室
ISO Class 5洁净室
ISO Class 6洁净室
| 项目 | 参数 |
| 产品名称 | 晶圆盒抗静电铝箔包装袋 |
| 材料结构 | PET / AL / PE 多层复合结构 |
| 表面电阻 | 10⁶~10¹¹ Ω |
| 静电屏蔽性能 | 符合ESD包装要求 |
| 颜色 | 银灰色 |
| 封口方式 | 热封、自封、真空封口 |
| 防潮性能 | 高阻隔 |
| 阻氧性能 | 高阻隔 |
| 遮光性能 | 优异 |
| 尺寸 | 可定制 |
| 洁净等级 | ISO Class 3-6 |
| 应用对象 | 晶圆盒、FOUP、半导体器件、光电器件 |