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晶舟盒铝箔袋

  • 描述
  • 应用
  • 功能和优势
  • 无尘室环境

晶圆在制造、运输和储存过程中,对静电、湿气、氧气以及颗粒污染极为敏感。任何微小污染都可能影响后续制程良率,甚至导致产品失效。

相比普通防静电袋,不仅能够有效屏蔽静电放电(ESD),同时具备优异的防潮、阻氧及遮光性能,可显著降低运输和仓储过程中的环境风险。

可配合无尘内袋使用。

  • 半导体晶圆制造(Wafer Fab)

  • 晶圆代工厂

  • 封装测试工厂

  • MEMS器件制造

  • 光电器件制造

  • LED芯片生产


  • 采用四层复合结构,由外向内依次为PET(聚酯薄膜)、AL(铝箔)、NY(尼龙)和CPE(氯化聚乙烯)

  • 多层ESD屏蔽结构,采用金属屏蔽层设计,可有效阻隔外部静电场影响,降低静电放电风险。

  • 符合洁净要求,材料选择符合电子及半导体行业洁净要求,降低包装过程中的微粒污染风险。

  • 优异的防潮性能,高阻隔材料能够有效减少水汽渗透,保护晶圆免受湿气影响。


  • ISO Class 3洁净室

  • ISO Class 4洁净室

  • ISO Class 5洁净室

  • ISO Class 6洁净室


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参数规格

项目参数
产品名称晶圆盒抗静电铝箔包装袋
材料结构PET / AL / PE 多层复合结构
表面电阻10⁶~10¹¹ Ω
静电屏蔽性能符合ESD包装要求
颜色银灰色
封口方式热封、自封、真空封口
防潮性能高阻隔
阻氧性能高阻隔
遮光性能优异
尺寸可定制
洁净等级ISO Class 3-6
应用对象晶圆盒、FOUP、半导体器件、光电器件


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